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新産業化学シリーズ

化合物半導体

プロセスと化学

カテゴリ 化学 ＞ 新産業化学シリーズ

ページ数四六判・上製190頁

発行年月1994年6月

ISBN978-4-477-00481-5

税込定価4,165円

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3－5族化合物半導体を中心に、その特徴、基礎物性や特性、結晶成長の原理や成長方法、結晶の品質や特性の評価技術について記述。

【主な内容】
化合物半導体とは／化合物半導体の基礎物性／バルク結晶成長技術と加工技術／薄膜結晶成長技術／化合物半導体結晶の評価技術／展望と課題

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